非接触式表面粗糙度检测仪的研究

摘要

本文介绍了一种基于光散射原理的非接触式表面粗糙度检测仪。采用自制光源系统和光纤传感器，分别在垂直测量表面和倾斜４５°两个方向同时探测镜反射分量和部分没反射分量，并用这两路光电信号相除，以提高测量灵敏度和消除工件材质等其它系统因素对测量结果的影响。