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基于CAD和CAM的AFM和STM机电装置的故障诊断和设计研究

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摘要

通过CAD和CAM的实体建模技术,并对SPM的工作情况进行仿真研究,得到了SPM的失效原因.使用CAM技术对SPM进行设计研究,提出了一种针对SPM的新型偏心升降装置,使得SPM的测试高度大大增强;并设计了过载保护装置,解决了SPM测试较高样品时的失效问题.

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来源
《机床与液压》|2005年第7期|180-182,166|共4页
作者
张振宇; 李鸿琦; 刘美华; 周红秀; 王静;
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作者单位

天津大学机械学院力学系,天津,300072;

天津大学机械学院力学系,天津,300072;

天津大学机械学院力学系,天津,300072;

天津大学燃烧学国家重点实验室,天津,300072;

天津大学机械学院力学系,天津,300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP206.3;
关键词
AFM; STM; SPM; CAD; CAM; 故障诊断; 设计;
入库时间 2023-07-24 18:55:03

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