一种实用的ROI区域实时搜索方法

摘要

在开发某企业半导体芯片外观视觉检测项目中,针对搜索ROI区域时,由于待测芯片的倾斜而导致搜索存在偏差甚至错误的问题,实现了一种运用特征小模板对倾斜图像进行匹配和角度计算并校正图像的方法。利用特征小模板对小角度倾斜不敏感的性质,在半导体的视觉检测应用中,通过两个小模板的匹配结果对待检测芯片图像进行倾斜校正,然后再进行ROI区域搜索。在执行时间增加很小的情况下显著提高了精度,保证了后续的各项外观参数检测的实时、准确与可靠性能。该方法已成功应用在某企业半导体芯片外观视觉检测中,实际运行表明此方法是可靠和成功的。