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颜认; 陈枫; 陈小丹; 周一丹;
南通大学机械工程学院,江苏南通226019;
化学气相沉积; 金刚石薄膜; 涂层刀具; 技术进展;
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机译:一种主要尺寸约为所用微波的一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
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