专利文摘

摘要

一种一氟甲烷提纯工艺,申请(专利)号:CN201811296975.8,公开(公告)日:2022-01-18,申请(专利)人:广东华特气体股份有限公司;江西华特电子化学品有限公司,摘要:本发明公开了一种一氟甲烷提纯工艺,包括以下步骤:(1)、初步吸附:使待提纯一氟甲烷经过吸附剂进行杂质初步脱除;(2)、进料和提纯:初步吸附后的待提纯一氟甲烷进入已冷却的精馏塔,除去待提纯一氟甲烷中的轻组分,之后,将精馏塔内物质排出装入存储容器,塔内剩余重组分,装入容器内的物质即为一氟甲烷,其纯度为4N~5N。