三氟化硼纯化工艺综述

摘要

三氟化硼作为一种常用的气体在半导体工业中发挥着重要的作用。高纯度的三氟化硼(>4N,>99.99%)可用于高新技术行业因而具有高的附加值、重要的研究意义和工业价值。对三氟化硼工艺包括冷阱法、吸附法、化学转化法及精馏法等进行了总结。