三氟化氮纯化方法综述

摘要

介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法。为了满足电子工业对其纯度要求。采用的纯化方法有：低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术。