特种气体的配气装置及方法

摘要

申请（专利）号：201710822033.8公开（公告）日：2018-03-13申请（专利权）人：清远先导材料有限公司摘要：本发明涉及一种特种气体的配气装置,所述配气装置包括置于同一高度的N个同样的目标气瓶、N根金属管、一分流圆轴,每一目标气瓶通过一根金属管连接在分流圆轴上.