多气体的混合配气装置及C5F10O三元混合气体的配气系统

摘要

本实用新型公开了一种多气体的混合配气装置及C5F10O三元混合气体的配气系统，混合配气装置包括混气装置和储气装置；所述混气装置设置为螺旋管道，且所述螺旋管道的轴线与水平面垂直，所述螺旋管道远离地面侧的管口通过输出管路与所述储气装置连通，所述螺旋管道靠近地面侧的管口通过多通阀连接多个输入管路。本实用新型的目的在于提供一种多气体的混合配气装置及C5F10O三元混合气体的配气系统，解决现有混气装置混气不均匀的问题。