洛阳开发成功新型电子气体三氟化氮项目

摘要

由河南省洛阳市黎明化工研究院承担的新型电子气体三氟化氮技术开发，日前通过河南省科技厅和洛阳市科技局组成的专家组验收。该项目由黎明化工研究院和美国氟多多公司合作开展，采用直接氟化法新工艺，成功地合成了新型电子蚀刻气体三氟化氮。