惰性气体超纯化过程中催化氧化痕量的一氧化碳和氢

摘要

在室温下工作的一台电子级气体纯化器最近由BOC集团技术中心研制成功。该纯化器可除掉几vppm的杂质,可使惰性气体中的CO、H_2、CO_2、H_2O和O_2等杂质含量降到<0.1vppm的水平。在研制过程中,为了选择最有效和最可靠的催化剂,考察了几种担载到载体上的金属催化剂在室温下氧化CO和H_2反应的催化行为。对于用担载Rh和Pt的催化剂,在低反应物浓度(<10vppm)和低温(20℃)下,其结果是过渡时间长,失活缓慢。如同在较高浓度和较高温度下氧化CO一样,观察到反应具有稳态的多重性,这被认为是反应机理的变化,此机理变化好象与失活过程本质有关。