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SiH4、N2二元混合气在低O2态下的潜在危险性

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摘要

通常硅烷与氧很难共存,人们也决不会贸然在硅烷气体中作掺氧试验.一次偶然的机会,我们做配制SiH4与N2二元混合气的实验,事后发现所用N2中含氧量为4.2%(体积分数).由此我们知道这种处于亚稳状态的硅烷混合气其潜在的危险非常之大.

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来源
《低温与特气》 |2004年第1期|32-34|共3页
作者
沃银花; 王少楠; 余京松;
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作者单位

浙江大学,材化学院,半导体所,浙江,杭州,310027;

西南化工研究设计院,四川,成都,610225;

浙江大学,材化学院,半导体所,浙江,杭州,310027;

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正文语种 chi
中图分类特种气体;
关键词
二元混合气; 硅烷; 爆炸行为; 亚稳状态; 潜在危险;

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