调控矢量激光场在表面处理中的应用研究

摘要

为了研究调控矢量激光场在表面处理中的应用,基于Nd∶YAG脉冲调Q激光器,搭建了矢量调控模块,采用选取钛合金和单晶硅进行激光烧蚀打孔实验的方法,对柱对称矢量激光的脉冲次数、光束的偏振态和拓扑荷数对激光表面处理的影响进行了系统研究。结果表明,激光脉冲次数对孔的影响主要集中在孔深和孔径,光束偏振态主要影响孔的圆度和光洁度,拓扑荷数则影响孔底和孔周的光洁度。调控矢量激光作为一种特殊激光,有望在优良材料加工和处理领域获得广泛应用。