一种衍射测量新方法的研究

摘要

衍射孔径线度与衍射光强存在一定的缩放关系,这一关系可以应用于微小尺寸的工程测量。本文对衍射缩放定理进行了开发,给出了用于单缝和小孔的测量公式以及光电面接收修正因子的表达式。文中还给出了以细丝为例进行的测量实验的结果。