LIGA工艺中微电铸工艺研究

摘要

为了得到微米级的微型结构,先用准分子激光加工高深宽比的聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA )微孔结构,并以此和光刻成型的微结构作为模具,进行了微电铸试验,通过对电镀参数方法进行调整和优化,改善了微结构加工中镀液难以进入孔隙、浓差极化严重、结晶粒子不能得到及时补充等缺点,得到了线宽为10μm级的微型结构.为进一步的微结构加工奠定了基础.