长波碲镉汞探测器的原位集成微透镜技术研究

摘要

采取原位集成的方式在红外焦平面探测器芯片的入光侧制备微透镜阵列以达到增强信号以及减小串音的作用,通过光学分析获得了匹配不同中心距器件的微透镜结构设计,在长波碲镉汞320×256,50μm和30μm中心距的探测器上验证了原位集成的微透镜阵列能够有效地通过汇聚光线,使信号增强分别达到28%和61%。对于超高灵敏度红外探测以及SWaP和超大规模红外探测器研究具有重大意义。