线性电压扫描法测量硅的体产生寿命和表面产生速度的研究

摘要

本文采用Ｒａｂｂａｎｉ的产生区宽度，导出了描述线性电压扫描作用下ＭＯＳ电容器的电容－时间瞬态特性的微分方程，通过积分这一微分方程，得到了描述线性电压扫描作用的ＭＯＳ电容器的电容一时间瞬态特性方程。依据这一方程，提出了一种确定体产生寿命和表面产生速度的计算方法。