考虑系统时变效应与预防性维护的平行机调度

摘要

实施预防性维护(PM)能改善晶圆制造厂离子注入工序中设备状态从而改善晶圆卡(lot)加工时间延长的问题,基于此,研究考虑系统时变效应与预防性维护的平行机调度问题.以最小化最大完工时间为优化目标,建立包括设备可靠性以及工件实际加工时间约束的数学非线性规划模型.设计求解该模型的学习型遗传算法(LGA),针对问题特性引入最优支配规则改进变异操作,构建预防性维护知识库指导进化后期预防性维护决策,以提升算法质量.算例实验结果表明,改进的学习型遗传算法能有效应对系统时变效应对生产调度的影响,减少最大完工时间,具有实用价值.通过灵敏度分析实验研究晶圆卡对设备状态衰退的敏感程度和预防性维护对调度决策的影响,为实际车间调度提供决策支持.