二氧化钒对异向介质太赫兹调制特性的研究

摘要

异向介质是由在介质衬底表面上周期分布的金属开口环组成,它的特性很大程度上取决于开口环的结构特性.金属开口环的谐振特性和组成材料的介电常数有很大的关系,可以通过改变电容或电感来达到调制的效果.研究中在开口缝隙处插入可以发生绝缘-金属相变的二氧化钒(V02)薄膜,用CST软件进行仿真,可以看到有明显的调制现象.另外,通过仿真还表明V02薄膜厚度在0.1μm以上能达到更好的调制效果.