双路两焦点磁头飞行姿态测试技术的光路系统

摘要

该文介绍的是基于激光多卜勒原理,采用双路两焦点测试磁头飞行姿态的新技术。它可以测出亚微米级的动态位移,分辨率可达0.008μm。