溶胶—凝胶法制备TiO_2氧敏元件研究

摘要

用溶胶—凝胶法和液相共沉淀法分别制备了ＴｉＯ＿２厚膜氧敏元件，对所得元件的性能进行了分析。通过对比实验发现，溶胶—凝胶法是一种很有潜力的制备ＴｉＯ＿２氧敏元件的新方法。