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郝跃; 刘明; 周益春;
中国科学院;
西安电子科技大学;
中国科学院微电子研究所;
湘潭大学;
材料物理与化学; 凝聚态物理 ; 微电子学与固体电子学; 铁电材料 ; 固体力学 ; 功能器件; 国防安全 ; 不可替代 ;
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机译:具有铁电材料的三维存储器件
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