两端绞紧微板弛豫动态过程分析

摘要

为探讨微机电系统中平板结构弛豫动力学特性,基于Euler-Bernoulli方程,计入空气滑膜阻尼与压膜阻尼对微板弛豫过程的影响,导出两端绞紧微板挠度弛豫表达式,并给出临界阻尼、过阻尼及欠阻尼时微板弛豫Ma-ple算例。利用ANSYS对微板临界阻尼、过阻尼以及欠阻尼弛豫进行仿真,结果显示不同长宽比微板仿真数据均与理论计算符合较好。