Sb-Se系和Ge-Sb-Te系相变光盘记录介质微观结构及光学性能研究

摘要

利用X射线衍射仪,分光光度计对Sb-Se系和Ge-Sb-Te系相变光盘记录介质材料非晶态薄膜相变前后结构的变化,光学性能进行了系统的研究,X射线衍射分析表明:SbSe非晶态薄膜退火后有Sb 的析晶峰,SbSe2有Se的析晶峰,符合化学计量比的Sb2Se3全部是Sb2Se3的共晶峰.GeSb2Te4非晶态薄膜在热退火过仇逐首先形成fcc亚稳相,升高退火温度,Fcc相转变为稳定的hex相,GeSb4Te4非晶态薄膜退火后在发生上述变化的同时,还有Sb 的析晶峰.分光光度计测试表明:Sb-Se系非晶态的光稳定性很不理想,随着波长的改变,反射率变化太快.对于Ge-Sb-Te系合金,在各种波段处,两种合金都有较大的反衬度,其非晶态的光稳定性也较理想,随着波长的改变,反射率变化不大.