光学面形检测仪

摘要

该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描,用CCD相机获取干涉场中各点的光强,利用图像中各点光强的变化关系,求出被测波面的位相信息或波面面形.由于横向剪切干涉技术是利用被测波面自身实现干涉的, 不需要标准的参考面，测试装置简单、测量速度快、测量精度高，且可以实时对剪切干涉图进行采集与处理，得到被测原始波面的信息．