酸催化正硅酸乙脂溶胶-凝胶二氧化硅薄膜的制备

摘要

针对正硅酸乙脂(TEOS)溶胶-凝胶工艺制备的二氧化硅凝胶薄膜在热处理过程中出现的龟裂现象,通过控制TEOS水解条件,使反应体的最初水解中间体以任意三维方向线状聚合,再水解时能形成线状-粒状结构二氧化硅溶胶.水解体系中引入的有机添加剂丙三醇与水解中间体结合后,改变了二氧化硅的聚集状态,而聚乙烯醇使二氧化硅溶胶具有无机-有机网状结构.通过该工艺制备的二氧化硅溶胶易于成膜;所形成的二氧化硅薄膜结构均匀,厚度可控,表面致密,其折射率为1.543～1.580,热导率为0.3 W/(m*K).