F-P标准具结构设计及加工误差补偿方法研究

摘要

为了提高星载云-气溶胶激光雷达在白天的信噪比,采用法布里-珀罗(F-P)固体标准具作为532 nm探测通道窄带滤光器的核心部件.根据F-P标准具的设计指标,对F-P标准具光学组件进行详细设计,确定F-P标准具厚度为131.1179 μm,FSR为738 pm,FWHM为38.2 pm,采用"夹层式结构".详细分析厚度加工误差对F-P标准具滤波性能影响,得出结论:厚度误差值以kλ0/2n(k为整数)变化时,中心波长的最大透过率值以λ0/2n为周期交替出现,无须补偿;厚度误差值在以λ0/2n周期内变化时,必须采用入射角或工作温度补偿方法进行厚度补偿.通过模拟计算可知,该两种补偿方法可以有效地补偿FP标准具由于加工误差带来的中心波长的漂移,实现高精度滤波.