超声键合装置中劈刀的稳态振型研究

摘要

利用扫描式多普勒测振仪,对劈刀的振动形态进行测试,其结果证实了:当改变劈刀与变幅杆联结的松紧程度时,会对其振动的模态振型产生影响;外部输入功率也会随着连接松紧度的改变而发生变化.对劈刀振动的模态振型作进一步的实验研究,将对优化设计超声振动系统、提高超声能量的利用率有重要意义.