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LIGA实验站的设计及应用

     
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摘要

介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果.

著录项

  • 来源
    《中国科学技术大学学报》|2007年第5期|387-391|共5页
  • 作者

    田扬超; 刘刚; 洪义麟; 郭育华; 熊瑛; 阚娅;

  • 作者单位

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

    中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029;

  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 CHI
  • 中图分类 与物质的相互作用;
  • 关键词

    同步辐射; LIGA; 深度光刻;

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