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高晟元; 孙铁生; 刘豫瑶; 郑明昊; 刘洋; 张雅楠; 黄美东;
天津师范大学物理与材料科学学院;
射频磁控溅射; 沉积气压; 折射率; 消光系数; 透射率;
机译:气压和r.f.的影响对磁控溅射沉积非晶碳薄膜的生长和性能的影响
机译:总气压对脉冲直流平衡磁控溅射系统沉积CrAlN薄膜组织和性能的影响
机译:氧气压力对射频磁控溅射沉积(ZnO)_3ln_2O_3薄膜的结构,电和热电性能的影响
机译:氩气压力对DC磁控溅射沉积的ZnO:GA薄膜性能的影响
机译:沉积参数与射频磁控溅射沉积氧化锆薄膜性能之间的关系。
机译:氧浓度对超薄射频磁控溅射沉积铟锡氧化物薄膜作为光伏器件上电极的性能的影响
机译:用于高效薄膜211薄膜光伏器件的大气压化学气相沉积CdTe;年度报告,1998年1月26日至1999年1月25日
机译:磁控溅射枪和磁控溅射薄膜沉积装置
机译:磁控溅射系统及通过磁控溅射薄膜沉积的方法
机译:用于溅射沉积源的磁性装置,磁控溅射沉积源以及利用磁控溅射沉积源在基板上沉积膜的方法
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