一种新型RF MEMS开关的设计

摘要

本文给出了一种新型RFMEMS开关的设计,采用膜桥结构,在打折梁的下面带有移动的介质膜,由静电驱动打折梁,这样的结构具有开关响应时间短、能耗低和易集成等特点.利用Intellisuite软件,重点研究了不同形式打折梁、不同膜厚等主要结构参数对器件性能的影响,给出了相应的优化措施和解决方案.