离子镀TiN膜及其摩擦状态转化特性的研究

摘要

用热阴极离子镀制成ＴｉＮ膜，膜厚约３μｍ。用ＸＰＳ和ＸＲＤ分析膜的价态和结构表明：膜表层ＴｉＯ２含量较高，ＴｉＮ含较低。膜内主要由ＴｉＮ相构成，有较强择优取向。膜与衬底结合力强，其临界载荷达３５Ｎ，ＴｉＮ膜具有较高的显微硬度，较低的摩擦系数和很好的抗磨性能。在球一盘式摩磨损试验机上，采用阶梯加载方式，测定了润滑条件下ＧＣｒ１５钢／ＴｉＮ膜滑动摩擦副的临界载荷－速度（ｐ－ｖ）图，分析了其摩擦状态转化