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片状气体放电电子束强度与能量分布的实验研究

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片状气体放电电子束强度与能量分布的实验研究罗宗南，崔一平，陈松生，杨正名（东南大学电子工程系．南京２１００１８）气体放电电子束强度高，能量大，在微电子、光电子、加工、材料科学、等离子化学以及表面处理等方面有着广泛的应用前景，加以成本低廉、操作方便，是...

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来源
《东南大学学报：自然科学版》 |1995年第a04期|150-153|共4页
作者
罗宗南; 崔一平; 陈松生; 杨正名;
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作者单位

东南大学电子工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类连续性出版物;
关键词
gas; discharge; energe; spectrum/beam; intensity; flake; shaped; electron; beam;

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