纳米Zn_(1-x)Cu_xO薄膜的结构及光学性质

摘要

采用射频磁控溅射制备了不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜.以X射线衍射、扫描电镜等对薄膜的结构和形貌进行了表征,XRD和SEM测试结果显示Cu掺杂量为5.0 at.%时,Zn0.95Cu0.05O薄膜呈纳米柱状结构.同时也对薄膜的光致发光(PL)进行了研究.结果表明,406 nm的发光峰源于带边自由激子电子的复合,440 nm的发光峰则和薄膜中的锌间隙Zni缺陷有关.