40.68MHz激发的N_2容性耦合等离子体径向不均匀性研究

摘要

通过使用扫描发射光谱仪和朗缪尔双探针的测量方法研究了40.68MHz的射频驱动的N2容性耦合等离子体的不均匀性。发现在高气压和高输入功率的条件下,容性放电中的中心峰值是由驻波效应造成的,而在靠近径向边缘的峰值是由感应电场造成的,这些引起了发射光谱在电极表面超过20%的不均匀性。然而,N2容性放电的振-转动温度展示了低于10%的不均匀性,这可能是由有较大的径向弛豫时间的和高密度的亚稳态粒子的主导碰撞造成的.