合成亚波长窄带高反射滤波器的性能研究

摘要

把亚波长光栅的全反射特性与干涉薄膜的减反射特性相结合，构成“合成亚波长微结构薄膜”（ＭＳＭＦ）．用矢量衍射理论，从理论上探讨了ＭＳＭＦ制作窄带高反射滤波器的可靠性．结果表明，这种滤波器具有反射率峰值高，旁带低和相对半宽度窄的特点．