基于复合封装薄膜的水汽透过率测试系统研究

摘要

基于活泼金属(钙、镁)电学法设计研发了用于老化测试环境下的水汽透过率测试仪器,测试精度达到10-6 g,m-2,d-1.利用本测试仪器测试了不同叠层次数的A12 O3/ZrO2复合薄膜的水汽透过率,结果表明,多次叠层后的Al2O3/ZrO2复合薄膜的水汽阻隔性能得到了较好提升.