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沈永根; 蔡振铭;
上海电气电站设备有限公司汽轮机厂,上海200240;
封闭式窄深槽; 加工技术 ; 电脉冲加工;
机译:对于SII纳米技术之类的深槽和窄槽,可提高SPM观察精度,控制半导体电路等的控制系统。
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机译:使用外部距离场识别零件的窄槽和深槽特征
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