基于Y型多针孔干涉仪的三维绝对坐标测量

摘要

提出一种利刚Y型多针孔干涉仪测量三维绝对位置坐标的新方法．这种方法是通过提取多针孔板上各测量孔的相位信息进而计算出待测点绝对位置坐标的．文章详细介绍了该方法的测量原理，并通过理论分析给出了测量公式．通过计算机模拟实验的方法验证了该方法的可行性．与现有的点衍射干涉测量法相比，该方法不需要任何相移装置，对测量环境的要求低，并且不需要迭代算法便可较为准确的求解出被测点的绝对位置坐标，有利于绝对位置坐标的实时测量．