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微加工悬臂梁在横向冲击下的响应分析

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分析了微加工悬臂梁在横向冲击下的响应 .将悬臂梁看作一个质量分布参数系统 ,利用模态叠加法计算悬臂梁在冲击下的位移和应力分布 ,并根据位移和应力的最大值判断悬臂梁可能的失效模式 ,从而为MEMS器件的可靠性设计提供依据 .

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来源
《半导体学报》 |2005年第2期|379-384|共6页
作者
方绪文; 唐洁影; 黄庆安;
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作者单位

东南大学MEMS教育部重点实验室;

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正文语种 chi
中图分类设计 ;
关键词
MEMS; 悬臂梁; 冲击; 分布参数;

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