取代基对等离子体聚合物组成和性能的影响

摘要

应用IR和XPS对乙烯基三甲基硅烷(VTMS)、二甲基乙烯基乙氧基硅烷(DMVEOS)和乙烯基三乙氧基硅烷(VTEOS)的等离子体聚合膜结构进行了表征。研究了乙氧取代基对聚合物化学组成和性能的影响。取代基对聚合膜性能的影响,表现在聚合膜表面能和气体透过性上。