基于DSP的机械手开放式运动控制器设计

摘要

介绍一种应用于晶圆传输机械手的开放式运动控制器,它由DSP(TMS320F2812)、CPLD和PC/104嵌入式工控机构成,并将运动控制器的系统结构按功能分为几个模块,同时讨论了各个模块的硬件设计及工作原理。