光栅线位移传感器的误差分析

摘要

在光栅测量仪器中，光栅传感器的误差是影响整个仪器精度的主要因素，主要产生在光栅的刻制、传感器结构及传感器的安装等方面。本文着重分析了光栅线位移传感器的误差来源，并给出了相应的消误差方法，为提高传感器设计精度提供了理论依据。