光栅角位移传感器准确度检测装置及误差分析

摘要

本文介绍了一种使用分度头及专用卡具检测光栅角位移传感器准.确度的方法,并对测量误差进行了分析。与用多面体—光电准直仪等检测方法比较,该方法具有操作容易、数据处理简单等特点。