薄膜厚度对FeZrBNb单层膜巨磁阻抗效应的影响

摘要

用射频溅射法制备了FeZrBNb合金薄膜，研究薄膜厚度对巨磁阻抗效应的影响。结果表明，适当增大薄膜的厚度可以降低薄膜样品的临界频率，提高阻抗比。频率为13MHz时，厚度为10．8μm的薄膜样品的最大纵向阻抗比达到了5．9％，高于3．5μm的薄膜样品（最大纵向阻抗比为1．9％）；而临界频率为400kHz，远低于薄膜厚度为3．5μm的样品（临界频率为1．3MHz）。