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类金刚石碳膜热稳定性的研究

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摘要

研究了退火对类金刚石碳膜结构和性能的影响.结果表明:低于400℃退火对膜的结构、电阻率、硬度无明显影响;高于400℃退火,由于膜中氢原子的逸出,非晶碳将转变为石墨微晶,从而导致电阻率急剧下降;在400～700℃温度范围退火后,膜的硬度仍无明显变化.

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来源
《西北工业大学学报》 |1993年第2期|229-232|共4页
作者
刘正堂; 许念坎;
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作者单位

不详;

不详;

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原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
薄膜; 类金刚石碳膜; 热稳定性;

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