冲击波活化热压烧结氮化硅粉末

摘要

对Si3N4粉末实现了三种不同压力的冲击波预先处理,而后采用三种不同的热压烧结条件制得Si3N4陶瓷.运用SEM,TEM,HRTEM和XRD等手段分析了粉末和陶瓷的结构特性 ,同时测试了材料的性能.结果表明:冲击波压力没有导致Si3N4粉末的相变,TEM观察表明 Si3N4 晶粒中有大量的位错及位错群,冲击波的作用主要是通过引入大量位错和其他缺陷促进致密化过程,提高陶瓷材料的机械性能.经过40GPa冲击波活化1800℃热压烧结的Si3N4陶瓷性能最好,弯曲强度达1107.2 MPa,断裂韧性达12.20 MPa.m1/2.