提拉速度对溶胶-凝胶法制备氧化锆薄膜均匀性的影响

摘要

研究了3种不同提拉速度对溶胶-凝胶提拉法制备氧化锆薄膜均匀性的影响。以无机盐氧氯化锆为锆源,制备出澄清透明的溶胶;采用0.4、0.7和1.0 mm/s的提拉速度分别在二氧化硅基底上制备出氧化锆薄膜;经干燥、热处理后运用WYKO表面分析仪对薄膜表面形貌进行表征。结果表明:提拉速度对薄膜表面粗糙度具有重要作用,1.0 mm/s的提拉速度下制备的氧化锆薄膜表面粗糙度较小。