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中心电极射频感应等离子体管件内表面改性

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摘要

本文利用中心电极射频感应等离子体对金属管件内壁进行表面改性处理,验证了该方法的合理性以及可行性.利用该方法制备出了类金刚石(DLC)薄膜,为管型和瓶型样品的内壁强化提供新的手段.

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来源
《中央民族大学学报：自然科学版》 |2007年第1期|47-51|共5页
作者
钮金真; 敖玲; 李云; 张灿书; 张谷令;
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作者单位

中央民族大学物理与电子工程学院;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类等离子体物理的应用;
关键词
等离子体源离子注入; 内表面; 类金刚石;

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