退火时间对低温烧结AlN陶瓷介电性能的影响

摘要

研究了退火时间和碳对低温烧结AlN陶瓷的介电性能,特别是介电常数的影响.结果表明,退火时间通过改变氧在AlN晶格中的扩散过程对介电常数产生极大的影响.随着碳含量的增加介电常数迅速增大,但对介电损耗的几乎不产生影响.